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干式螺杆真空泵有那些优点

2020-05-12162


  干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备,日本在螺杆压缩机基础上,很早就研发出了真空泵的多头转子型线,并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线,并在转子和机体冷却方面做了很多研究螺杆泵的技术关键问题。

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  作为抽气设备的真空泵,随着工业需求的不同,有各种方式的真空泵,二十世纪主导这一技术范畴的产品是油光滑和密封的泵,这类泵排出油雾,严重地污染了环境;只要少数工业的特殊需求,才采用无油泵类或水环式泵类(湿式泵),这类泵的真空度不高,耗水耗能严重,有干式请求的,不得不采用繁琐的物理、化学吸附,冷凝低温手腕,本钱很昂贵,如膜式泵,真空度不高,抽速小,吸附泵,不只抽速小,液氮的费用很大,总之能直接排入大气和高真空机组衔接的泵类是各有缺憾,干式泵不适合大工业应用,直到二十世纪的80年代,一种爪式泵类问世,但抽速难以做大,制造难度大、本钱高;另外还有应用多叶级数停止串联的罗茨泵,其缺陷和爪式泵一样。

  干式螺杆真空泵是一种容积泵,应用一对螺杆转子在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用,主要应用于高纯洁的真空工艺过程,真空度极高,可顺应恶劣工况,具有抽取凝性、含颗粒物气体的才能,特别适用于电子、化工、生物医药、金属加工、食品加工等范畴。

  双螺杆真空泵工作时,由于两个转子相对高速转动,转子与转子之间以及转子与泵腔之间必需留有一定的间隙以免发作摩擦。而螺杆真空泵在运用过程中,排气温度十分高,这也招致了螺杆真空泵的温度十分高,形成转子和机壳变形,转子与转子之间以及转子与泵腔之间的间隙会产生变化,影响抽气效果,严重的会使其发作摩擦,最后烧结卡壳。

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  与现有技术相比,本适用新型具有以下优点:

  1、螺杆转子与螺杆转子之间以及螺杆转子与壳体之间的间隙沿进气端到排气端的方向依次减小,使螺杆转子稳定工作后有足够的收缩空间,防止螺杆转子卡壳,而且收缩后它们的间隙更小,气体的走漏量更少,抽真空效果更好。

  2、螺杆转子采用螺纹小径均相同,螺纹大径沿进气端到排气端方向依次减小的设计,既降低了螺杆转子的加工难度,降低了消费本钱,而且在稳定工作时,螺杆转子之间的间隙更小更平均,减少了气体走漏。

  螺杆真空泵由于具有清洁无油、抽速大、振动小、噪声低等优点,已成为当前大型空间模拟真空系统的首选产品。另外,为了提高真空机组的抽速和极限真空并相应的减小螺杆泵的尺寸,一般都是采用一台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的二级机组或二台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的三级机组。如果您还有什么疑惑的话,欢迎咨询我们!


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